EE4014-19 MEMS

Mahasiswa mampu memahami prinsip sensor, MEMS, dan piranti cerdas elektronika dan mampu menerapkan dalam bidang otomotif, elektronika dan energi terbarukan.

Prinsip dan cara kerja sensor, MEMS, dan piranti cerdas elektronika, teknologi sensor, MEMS, dan piranti cerdas elektronika  dan aplikasinya dalam mikro-divais elektronika berbasis silicon, integrated circuit (IC), Ultra large-scale integration (ULSI), teknologi baru mikrosensor dan mikroaktuator, teknologi bulk dan surface silicon micromachining dalam pengembangan MEMS, piranti cerdas elektronika, aplikasi dalam bidang otomotif, elektronika dan energi terbarukan